1、良好的电性能
硅晶圆的导电性能稳定,不因温度变化、时间变化而发生大的改变,从而能够保证集成电路的可靠性。
2、化学稳定性好
硅晶圆内部的物质非常稳定,能够抵抗最常见的化学腐蚀,这使得硅晶圆能够在制造过程中经受得住各种化学试剂的冲击。
3、价格低廉
在半导体材料中,硅材料是相对便宜的,这使得硅晶圆在具有成本意识的半导体企业中备受青睐。