深圳市怡和兴机电科技有限公司于2000年成立于深圳,是一家从事高温烘烤设备与自动化智能化烘烤设备的研发、生产与销售于一体的科技型公司。怡和兴主营半导体烘烤设备、真空设备、等离子清洗设备、自动化烘烤设备等,竭力于为客户提供半导体、新能源、新材料等领域提供热处理和表面清洁解决方案。目前已取得专利70多项,已成为多家大规模企业及研究业设备供应商。
针对半导体行业,怡和兴拥有近20年的技术积累和经验传承,主要产品包含厌氧烤箱、洁净烤箱、光刻烤箱、无氧化烘箱、无尘烘箱、晶圆退火烘箱等,为国内半导体生产线自动化设备提供行业内优先的流体整合方案。
同时针对新能源和新材料行业,怡和兴具备强大定制化服务能力。公司根据客户的实际使用需求,定制用于干燥、老化或评价性试验用途的烤箱。包括各类精密箱式烘烤设备、非标定制隧道式烘烤设备、自动化烘烤设备、真空烘烤设备、洁净烘烤设备、防爆等烘烤设备,防潮工程及防潮储存设备等。
还针对逻辑、存储、功率器件、光学、微显示等领域的关键工艺道次,怡和兴研发了一系列等烘烤和清洗系统,为客户提升产能、优化工艺提供稳定的设备与完善的技术支持。产品涵盖:固化、封装、清洗、干燥、灰化等半导体工艺装备;平板显示制造装备和气体质量流量控制器等核心零部件。涉及集成电路、LED、MEMS、电力电子、平板显示、光伏电池等半导体相关领域。通过持续的发展,成为热处理技术的专家。
怡和兴至今的产品已经广泛应用于半导体晶圆加工、半导体封装、汽车制造、手机制造、玻璃光学、材料科学、电子电路、医疗医用、新能源技术、航天军工等领域。