1、就结构而言，常见的探针类型主要包括弹性探针、悬臂探针和垂直探针

（1）弹性探针

可弹性探针是一个由螺旋弹簧组成的探针，其两端连接在上下柱栓上。螺旋弹簧的中间部分紧密缠绕在一起，以防止产生额外的电感和附件电阻。而弹簧的两端部分则被稀疏缠绕，以降低探针对被测试物体的压力。在检测集成电路时，信号会从下柱栓流向上方，形成导电路径。

（2）悬臂式探针

悬臂探针为探针部提供适当的纵向位移，用于通过横向悬臂接触待测半导体产品，以避免探针部对待测半导体产品施加过大的针压。

（3）垂直式探针

垂直探针可以对应高密度信号触点的待测半导体产品的细间距排列，针尖接触待测半导体产品所需的纵向位移可以通过针体本身的弹性变形来提供。

2、根据探针材料的划分，常见的有钨探针、钒铜探针和钨合金探针

其中，钨髁合金探针具有稳定的接触电阻，兼顾硬度和柔韧性，不易发生探针偏差。因此，钨髁合金探针是目前性能良好的一种常见探针。

3、根据探针的工作频率，探针分为同轴探针和普通探针

同轴探针用于对测试频率比较敏感的测试环境；普通探针用于对信号衰减不敏感的测试环境。