一、划痕的检测与评估
1、目视检测
对于透明玻璃基板，可将基板对着光源观察，划痕会呈现为亮线或暗线。对于镀膜基板（如ITO玻璃），划痕会破坏膜层连续性，呈现为颜色差异。目视检测可初步判断划痕位置和长度。
2、显微镜检测
使用光学显微镜或扫描电子显微镜观察划痕，可精确测量划痕宽度、深度及形貌。显微镜检测可区分表面划痕和膜层划痕，为修复方案提供依据。对于深度小于10μm的划痕，通常可通过抛光修复；深度大于10μm的划痕，修复难度较大。
3、划痕深度测量
使用表面轮廓仪或原子力显微镜测量划痕深度。对于光学基板，划痕深度超过表面粗糙度Ra值的5倍时，需进行修复。对于显示基板，划痕深度超过0.1μm时，可能影响显示效果。
二、轻度划痕的修复方法
1、机械抛光法
对于深度小于5μm的轻度划痕，可采用机械抛光法修复。使用方法：将抛光液（如氧化铈抛光液或氧化铝抛光液）均匀涂抹在抛光布上，将基板固定在抛光机上，以适当压力进行抛光。抛光速度控制在100-300rpm，抛光时间根据划痕深度确定，一般5-15分钟。抛光后需用去离子水清洗干净，检查划痕是否消除。操作要点：抛光压力不宜过大，防止基板变形；抛光液需定期更换，防止颗粒聚集导致二次划伤。
2、化学机械抛光法
对于深度5-10μm的划痕，可采用化学机械抛光法。该方法结合化学腐蚀和机械研磨，可有效去除划痕。使用方法：使用碱性或酸性抛光液，在抛光机上对基板进行抛光。抛光液中的化学物质软化玻璃表面，机械研磨去除软化层。操作要点：需控制抛光液pH值和温度，防止过度腐蚀；抛光后需立即清洗，去除残留化学物质。
3、局部修复法
对于局部划痕，可采用局部修复法。使用方法：使用棉签蘸取抛光液，在划痕处进行局部抛光。抛光时沿划痕方向单向擦拭，避免扩大划痕区域。操作要点：局部抛光需精细操作，防止损伤周围区域；抛光后需用去离子水清洗干净。
三、深度划痕的处理方法
1、镀膜修复法
对于深度超过10μm的划痕，机械抛光难以完全消除，可采用镀膜修复法。使用方法：在划痕区域沉积一层透明材料（如SiO₂或SiNx），填充划痕，然后进行表面抛光，使修复区域与周围表面平齐。操作要点：镀膜材料需与基板材料折射率匹配，避免光学差异；镀膜后需进行退火处理，提高膜层附着力。
2、更换基板
对于深度超过20μm的划痕，或划痕位于基板关键区域（如显示区域、光学中心），建议更换基板。因为深度划痕会严重影响基板的光学性能和机械强度，修复成本可能高于更换成本。
四、划痕的预防措施
1、规范操作
操作 玻璃基板时，需佩戴无尘手套，避免手指直接接触基板表面。使用洁净的夹具和工具，避免金属工具划伤基板。基板搬运时需轻拿轻放，避免碰撞。
2、存储保护
玻璃基板应存放在洁净的基板盒中，基板之间用隔纸或隔板隔开，防止相互摩擦。存储环境应保持温湿度稳定，避免温度剧烈变化导致基板变形。
3、定期检查
定期检查基板表面状况，发现轻微划痕及时处理，防止划痕扩大。对于使用中的基板，建议每季度进行一次全面检查。
