1. 几何量精密测量

长度与位移测量： 激光干涉仪可实现纳米级精度的长度测量，广泛应用于精密机械加工、半导体制造等领域，用于检测工件尺寸、装配间隙等。

角度测量：通过组合光学元件，可测量微小角度偏差，适用于光学元件校准、机床导轨平行度检测等。

直线度与平面度测量：利用多轴干涉仪系统，可评估导轨、工作台等部件的直线度或平面度，确保设备运动精度。

2. 机床与加工设备校准

数控机床精度检测：激光干涉仪是机床几何精度校准的核心工具，可检测机床的定位精度、重复定位精度、反向间隙等参数，确保加工精度符合标准。

三坐标测量机校准：用于验证测量机的空间坐标精度，保障其测量结果的可靠性。

3D打印设备校准：检测打印平台的水平度、喷头运动轨迹精度，优化打印质量。

3. 振动分析与动态测量

振动位移监测：通过高频采样功能，激光干涉仪可捕捉微小振动信号，分析振动频率、幅值等参数，适用于机械故障诊断、结构健康监测。

动态形变测量：在材料力学试验中，测量试件在加载过程中的实时形变，为材料性能研究提供数据支持。

4. 光学元件检测与调整

光学表面形貌测量：检测透镜、反射镜等光学元件的表面平整度、曲率半径等参数，确保光学系统性能。

光路对准与调整：在激光加工、光学实验中，辅助调整光路，实现光束的精确聚焦或平行传输。