加速度传感器
本榜单文章由 CNPP榜单研究员226号 上传提供 2026-09-10 1、零频响应能力: 这是它与压电式最本质的分水岭——电容式可低至0Hz响应,真正具备直流测量能力,能感知静态倾斜与重力分量,而压电式无法测量零频信号,实际低频下限约0.1~1Hz。
2、高精度与低漂移: 采用差动电容结构后,两个电容值变化相反,可有效补偿共模漂移与干扰,线性度优于1%。温度漂移小,通过ANSYS热力学仿真建模并在电路中引入温度补偿模块,零漂输出误差可降低近50%。
3、高灵敏度与低功耗: 电容由极板面积与距离决定,与温度无关,灵敏度极高,能感受μm乃至更小的位移。MEMS电容式加速度计功耗可低至1μA,非常适合电池供电的移动设备。