1、化学蚀刻机:依赖蚀刻液(如酸性溶液、碱性溶液)与材料表面的化学反应,溶解不需要的部分。
2、物理蚀刻机(又称干法蚀刻机):通过等离子体、激光等物理能量轰击材料表面,剥离目标区域,常见类型为等离子蚀刻机。
其适用材料覆盖铜、铝、硅、玻璃等,广泛用于精密制造领域,核心作用是实现“按需塑形”,满足产品对微观结构或表面图案的精度要求。