1、分辨率

分辨率是扫描电镜最主要的性能指标，对成像而言，它是指能分辨两点之间的最小距离；对微区成分分析而言，它是指能分析的最小区域。扫描电镜的分辨率通过测定图像中两个颗粒(或区域)间的最小距离来确定的，测定的方法是在已知放大倍数的条件下，把在图像上测到的最小间距除以放大倍数所得数值就是分辨率。

2、放大倍数

当入射电子束做光栅扫描时，若电子束在样品表面扫描的幅度为As，在显光屏上阴极射线同步扫描的幅度为Ac，则放大倍数可表示为M=Ac/As。

由于荧光屏的尺寸是不变的，因此，放大倍数的变化只要通过改变电子束在样品表面的扫描幅度As来实现。

目前商品化的扫面电镜的放大倍数可以从20倍到20万倍之间连续调节。

3、景深

景深是指透镜对高低不平的样品各部位能同时聚焦成像的能力范围，这个范围用一段距离表示。

如果景深为Ds，只要样品表面高低范围值小于Ds，则在荧光屏上就能清晰地反映出样品的表面形貌。正是由于扫描电镜景深大，特别适用于粗糙表面和断口的分析观察；图像富有立体感、真实感、易于识别和解释。