1、加压电压（工作电压）
在多数电子束焊中，加速电压参数往往不变，根据电子枪的类型通常选取某一数值，在相同功率下，随着加速电压的升高，电子束功率随之增大而提高了功率密度，电子光学系统聚焦性能改善，进一步提高了电子束焦点的功率密度，使焊缝深度及宽度增加，其熔深增加远比熔宽增加快，悍接5mm不锈钢时，加速电压从22KV增加了32KV时，熔深增加4倍，熔宽增加1倍多。
2、焊接电流
增加电子束电流时，功率虽然增加，但是由于空间电荷效应和热扰动加剧，使电子光学系统的聚焦性能变坏，其焦点的功率密度增加较低，所以熔深的增加较小。
3、焊接速度
焊接速度增加时，线能量减少，焊缝熔深、熔宽均减少，当降低焊接速度时，其焦点的功率密度没有变化，所以对熔深的影响不大。
4、电子枪工作距离（简称工作距离）
当工件距离变化后，为了获得最佳聚焦条件，必须调节磁透镜的聚焦电流，当工作距离增大时，聚焦电流减少，功率密度值也在减少，工件距离减少时，束焊的压缩比增大，使斑点直径变小，增加了电子束功率密度，则熔深相应增大，但工作距离大小会使过多的金属蒸汽进入枪体造成放电，因而在不影响电子枪稳定工作的前提下，可以采用尽可能短的工作距离。
5、焦点位置
在电子束焦点的上下附近，存在着功率密度近乎相等的一段区域，即活性区域，焊接时，一般工件都处在活性区域内，活性区域的长度于电子束的会聚角有关，当电子束焦点位于工件上方时为，上焦距，而焦点处活性区域不同范围内进行焊接时，其橫截面的形状及熔深有所不同，下聚焦时熔深大，表面聚焦时次之，上聚焦时最低。
6、直径
其它参数固定时，焦点直径取决于阴极与聚焦透镜套筒之间的距离，焦点直径减少，熔宽减少，熔深变化不大。
