| 上市公司名称 | 证券简称 | 证券代码 | 上市日期 |
| 北方华创科技集团股份有限公司 | 北方华创 | 002371 | 2010/03/17 |
| 苏州华亚智能科技股份有限公司 | 华亚智能 | 003043 | 2021/04/07 |
| 杭州长川科技股份有限公司 | 长川科技 | 300604 | 2017/04/18 |
| 深圳市易天自动化设备股份有限公司 | 易天股份 | 300812 | 2020/01/10 |
| 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 | 至纯科技 | 603690 | 2017/01/14 |
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 中微公司 | 688012 | 2019/07/23 |
| 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 | 芯源微 | 688037 | 2019/12/17 |
| 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 | 盛美上海 | 688082 | 2021/11/19 |
| 北京华峰测控技术股份有限公司 | 华峰测控 | 688200 | 2020/02/19 |
| 上海概伦电子股份有限公司 | 概伦电子 | 688206 | 2021/12/29 |
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