一、用之前先做的三件事
1、拆包不在普通区进行
外层包装先在缓冲间擦一遍再带进去。高等级区域用的无尘布,内袋开口前先擦封口,避免手和袋面浮尘落进去。没用完的布要封好,别敞口放台面上。
2、人先干净再碰布
戴好洁净服、口罩、丁腈手套。裸手上的油脂和皮屑会直接转印到布上,再擦产品就是反向污染。手套脏了先换,别用脏手套翻布。
3、布和区域要对上号
百级区布只进百级区,万级布不往回混用。不同区域用色标或包装区分,设备内表面、台面、地面分开拿布,别一块布擦到底。
二、折叠:把“干净面”用满
1、四分之一折法最实用
正方形布对半折两次,捏边悬空操作,不往台面蹭。这样一面能出4个干净面,翻过来再用4个,整块布有8个接触面可用。
2、封边朝里
手指捏在未封边的内侧,封边棱朝外接触面,避免硬边在镜片、镀膜上留微划痕。
3、脏一面翻一面
每擦完一道,展开换相邻干净面。已经擦过污染物的面,绝对不再碰已清洁区域。
三、擦拭手法:把污染“带走”不是“摊开”
1、单向直线,不画圈
从左到右或从上到下,笔直推。画圈会把颗粒搅起来又落回去,中间最脏。每次新行程重叠上一道10%–25%,别留空隙。
2、由洁到污
从最干净的位置往污染重的位置擦,比如先台面中心、再边角;先设备核心、再外壳。擦完就收手,不往回带。
3、力度轻而匀
布贴住表面即可,靠纤维吸附不是靠蛮力。压力太大容易起静电、伤镀膜,也把布面磨毛。
4、湿擦“润而不滴”
配IPA或去离子水时,喷在布上不是喷在件上。状态是微润、捏不出液滴。太湿会留水痕和离子残膜,太干吸不住细灰。
四、什么时候必须换布
1、八个面全用脏
不管面积擦没擦完,干净面用完就扔新布,别展开旧面继续凑合。
2、布变干或变黏
干布再擦容易掉屑回扬;粘了胶、油、助焊剂的布失去吸附力,继续用就是涂抹污染。
3、跨区必换
从设备内部出来擦外壳,从百级台面去万级周转区,换布。分区逻辑比“看起来不脏”更可靠。
五、用后闭环
1、一次性布用完即弃
丢进洁净室专用废料容器,别放台面、别塞口袋、别拿去擦鞋或擦门。
2、可重复清洗布单独走流程
超纯水清洗、无尘烘干、双层洁净包装,按内部验证周期走。没清洗条件就当一次性用,别拿普通洗衣机搅。
3、记录留痕
关键工位记清洁时间、区域、批号。体系审核时,操作可追溯比“擦得亮”更重要。